安全保護(hù)系統(tǒng)對(duì)任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機(jī)設(shè)備和人身安全，對(duì)于用戶(hù)來(lái)說(shuō)，我們?cè)O(shè)計(jì)分配了2 級(jí)的安全級(jí)別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù)，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數(shù)。
不論是工作在自動(dòng)工作方式，還是手動(dòng)維護(hù)方式，輸出量的互鎖保護(hù)都是非常重要的。為防止誤操作，我們?cè)O(shè)計(jì)了互鎖電路和程序互鎖的2 級(jí)互鎖。條件不充分按錯(cuò)鍵時(shí)，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯(cuò)誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報(bào)警或警告。通過(guò)紅黃綠三色報(bào)警燈和訊響器的控制動(dòng)作，分別實(shí)現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過(guò)程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時(shí)，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常，綠色指示燈亮。但當(dāng)流量低于設(shè)定的下限時(shí)，紅燈點(diǎn)亮報(bào)警，停止工藝進(jìn)程
鍍膜機(jī)通過(guò)用戶(hù)的使用和生產(chǎn)，證明整個(gè)程序化自動(dòng)控制系統(tǒng)滿(mǎn)足了用戶(hù)的使用要求?？刂葡到y(tǒng)界面清晰友善、編程簡(jiǎn)單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好，光學(xué)減反射膜層的透射率等性能指標(biāo)完全符合航天高性能GaAs 太陽(yáng)電池的要求，并為今后提高GaAs 太陽(yáng)電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺(tái)。
盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的發(fā)展在國(guó)內(nèi)已有幾十年，技術(shù)雖不斷提高，但比較國(guó)外先進(jìn)技術(shù)還有一定差距，特別是高端領(lǐng)域。本文對(duì)電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)所應(yīng)用的控制技術(shù)國(guó)際上雖然不是很新的技術(shù)，但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用，在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少，且要能長(zhǎng)期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國(guó)內(nèi)真空行業(yè)在高端真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。
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